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非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列制造技术
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文档序号:21437030
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非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列属于半导体激光器技术领域。现有半导体激光器线列叠阵在光束整形、输出耦合上面临多重技术难题。在本发明中,构成激光器阵列的激光器单管为非对称微盘腔边发射半导体激光器;前排激光器线列、后排激光器线列位于同一衬底上...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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