非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列制造技术

非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列属于半导体激光器技术领域。现有半导体激光器线列叠阵在光束整形、输出耦合上面临多重技术难题。在本发明专利技术中，构成激光器阵列的激光器单管为非对称微盘腔边发射半导体激光器；前排激光器线列、后排激光器线列位于同一衬底上，在前排激光器线列中，3～4个激光器单管按相同几何中心距一字排列，在后排激光器线列中，2～4个激光器单管按相同几何中心距一字排列，前排激光器线列中的激光器单管几何中心距与后排激光器线列中的各个激光器单管几何中心距相同；所述各个激光器单管出光方向相同且朝向前方，后排激光器线列中的激光器单管出射光光轴与前排激光器线列中最近接的激光器单管的几何中心相距二分之一几何中心距。

【技术实现步骤摘要】
非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列
本专利技术涉及一种非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列，利用蜗线形、椭圆形、螺旋形非对称微盘腔，以插空排列的方式形成阵列，大幅提高半导体激光光源的输出光功率，属于半导体激光器

技术介绍
微盘腔边发射半导体激光器具有阈值低、体积小、几何图形简单、可动态模操作、易与其他电子元件集成等特点。尽管如此，却不能满足全光网络和光电子信息等领域对半导体激光光源输出光功率要求，因为，微盘腔边发射半导体激光器的输出光功率低于通常的半导体激光器，尽管加大注入电流，以及通过加大激光器的尺寸来扩展腔内增益区，输出光功率的提高幅度还是不大。相比于圆形微盘腔边发射半导体激光器，非对称微盘腔边发射半导体激光器的出光方向强，出光效率高，于是现有技术将多个非对称微盘腔边发射半导体激光器单管排成线列，从而提高半导体激光光源的输出光功率，例如，将蜗线形微盘腔(limacon-shapedmicro-cavity)激光器单管以1×3线列方式排列，之所以以线列方式排列，是因为微盘腔边发射半导体激光器的出光方向平行于外延片，如果以阵列方式排列，又要求出光方向一致，前排激光器单管势必遮本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列，构成激光器阵列的激光器单管(1)为非对称微盘腔边发射半导体激光器；其特征在于，前排激光器线列、后排激光器线列位于同一衬底(2)上，在前排激光器线列中，3～4个激光器单管(1)按相同几何中心距一字排列，在后排激光器线列中，2～4个激光器单管(1)按相同几何中心距一字排列，前排激光器线列中的激光器单管(1)几何中心距与后排激光器线列中的各个激光器单管(1)几何中心距相同；所述各个激光器单管(1)出光方向相同且朝向前方，后排激光器线列中的激光器单管(1)出射光光轴与前排激光器线列中最近接的激光器单管(1)的几何中心相距二分之一几何中心距。

【技术特征摘要】
1.一种非对称微盘腔边发射半导体激光器阵列，构成激光器阵列的激光器单管(1)为非对称微盘腔边发射半导体激光器；其特征在于，前排激光器线列、后排激光器线列位于同一衬底(2)上，在前排激光器线列中，3～4个激光器单管(1)按相同几何中心距一字排列，在后排激光器线列中，2～4个激光器单管(1)按相同几何中心距一字排列，前排激光器线列中的激光器单管(1)几何中心距与后排激光器线列中的各个激光器单管(1)几何中心距相同；所述各个激光器单管(1)出光方向相同且朝向前方，后排激光器线列中的激光器单管(1)出射光光轴与前排激光器线列中最近接的激光器单管(1)的几何中心相距二分之一几何中心距。2.根据权利要求1所述的非对称微盘腔边...

【专利技术属性】
技术研发人员：晏长岭，杨静航，刘云，冯源，郝永芹，逢超，
申请(专利权)人：长春理工大学，
类型：发明
国别省市：吉林,22