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本发明提供一种晶片表面倾角变化精密测量系统，包括一底座、一升降平台、一安装平台、一距离粗调机构、一距离微调装置和两激光器位置调节机构；升降平台通过距离粗调机构可沿垂直于底座的竖直方向距离可调地固定于底座的上方；安装平台通过距离微调装置可沿竖...
该专利属于同济大学所有，仅供学习研究参考，未经过同济大学授权不得商用。

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