下载半导体元件的技术资料

文档序号:21305045

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半导体元件包含具有通道区域的半导体基板。栅极介电层位于半导体基板的通道区域上方。功函数金属层位于栅极介电层上方。功函数金属层具有底部、顶部和功函数材料。底部位于栅极介电层和顶部之间。底部具有第一浓度的功函数材料,顶部具有第二浓度的功函数材料...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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