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本发明涉及光通信传输技术领域,具体涉及一种正入射共面电极阵列光电芯片及其制备方法;一种正入射共面电极阵列光电芯片,包括多个分光单元,每个分光单元包括分光槽、吸光区和第一电极;分光槽贯穿芯片的吸收层;芯片的正面上还设有第二电极;以芯片的正面为...该专利属于深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市芯思杰智慧传感技术有限公司授权不得商用。
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本发明涉及光通信传输技术领域,具体涉及一种正入射共面电极阵列光电芯片及其制备方法;一种正入射共面电极阵列光电芯片,包括多个分光单元,每个分光单元包括分光槽、吸光区和第一电极;分光槽贯穿芯片的吸收层;芯片的正面上还设有第二电极;以芯片的正面为...