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一种NAND存储器、掩膜版以及制作方法技术
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文档序号:21304859
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本发明所提供的一种NAND存储器、掩膜版以及制作方法,该NAND存储器包括:基底以及堆叠层,其中,堆叠层设置在基底的一侧,包括沟道区、包围沟道区的台阶区以及设置在台阶区远离沟道区的一侧的切割区。并且,本方案中堆叠层为相互间隔堆叠的氧化物层和...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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