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存储器元件及其操作方法技术
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文档序号:21304855
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一种存储器元件及其操作方法,存储器元件包括一外围电路部分及位于外围电路上的一阵列部分。阵列部分包括一底导电层;位于底导电层上的一隔离层;位于隔离层上的一半导体基材;位于半导体基材上的一多层叠层结构;位于一第一贯穿开口的侧壁上的一通道层;一存...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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