下载用于先进的集成电路结构制造的鳍末端插塞结构的技术资料

文档序号:21304835

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本发明公开了用于先进的集成电路结构制造的鳍末端插塞结构。本公开的实施例属于先进的集成电路结构制造的领域,并且尤其是10纳米节点以及更小的集成电路结构制造和所得到的结构的领域。在示例中,集成电路结构包括在鳍的第一末端之上的第一隔离结构。栅极结...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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