下载用于高级集成电路结构制造的有源栅极上方接触结构的技术资料

文档序号:21304831

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本公开的实施例属于高级集成电路结构制造的领域,并且具体而言属于10纳米节点和更小的集成电路结构制造和所得结构的领域。在示例中,一种集成电路结构包括鳍状物之上的第一和第二栅极电介质层。第一和第二栅极电极分别在第一和第二栅极电介质层之上,第一和...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

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