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用于高级集成电路结构制造的有源栅极上方接触结构制造技术
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文档序号:21304831
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本公开的实施例属于高级集成电路结构制造的领域,并且具体而言属于10纳米节点和更小的集成电路结构制造和所得结构的领域。在示例中,一种集成电路结构包括鳍状物之上的第一和第二栅极电介质层。第一和第二栅极电极分别在第一和第二栅极电介质层之上,第一和...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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