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用于先进的集成电路结构制造的差异化电压阈值金属栅极结构制造技术
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下载用于先进的集成电路结构制造的差异化电压阈值金属栅极结构的技术资料
文档序号:21304820
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本公开的实施例属于先进的集成电路结构制造的领域,并且具体为10纳米节点以及更小的集成电路结构制造和所得到的结构。在示例中,一种集成电路结构包括鳍片。栅极电介质层处于鳍片的顶部之上并且侧向邻接鳍片的侧壁。N型栅电极处于鳍片的顶部之上的栅极电介...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。
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