下载用于先进的集成电路结构制造的差异化电压阈值金属栅极结构的技术资料

文档序号:21304820

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开的实施例属于先进的集成电路结构制造的领域,并且具体为10纳米节点以及更小的集成电路结构制造和所得到的结构。在示例中,一种集成电路结构包括鳍片。栅极电介质层处于鳍片的顶部之上并且侧向邻接鳍片的侧壁。N型栅电极处于鳍片的顶部之上的栅极电介...
该专利属于英特尔公司所有,仅供学习研究参考,未经过英特尔公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。