下载用于先进的集成电路结构制造的鳍切口和鳍修整隔离的技术资料

文档序号:21304815

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本发明公开了用于先进的集成电路结构制造的鳍切口和鳍修整隔离。本公开的实施例属于以下的领域:先进的集成电路结构制造,并且具体为10纳米节点以及更小的集成电路结构制造和所得到的结构。在示例中,一种集成电路结构包括鳍。第一隔离结构将所述鳍的第一部...
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