下载一种晶圆级系统封装方法以及封装结构的技术资料

文档序号:21304582

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本发明提供一种晶圆级系统封装方法以及封装结构。所述方法包括:提供承载晶圆,在所述承载晶圆上粘结芯片;在所述承载晶圆上形成键合材料层,以覆盖所述芯片并作为封装层;提供形成有芯片的器件晶圆,并将所述器件晶圆形成有芯片的面与所述承载晶圆经所述键合...
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