下载微波输出装置及等离子体处理装置的技术资料

文档序号:21283732

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本发明的一实施方式的微波输出装置中,从方向性耦合器输出自微波产生部传播至输出部的行进波的一部分。在第1测定部中,利用二极管检波产生与行进波的一部分的功率对应的模拟信号,将该模拟信号转换为数字值。并且,选择与对微波输出装置中被指定的微波的设定...
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