In the microwave output device according to one embodiment of the present invention, a portion of the traveling wave propagating from the microwave generator to the output part is output from the directional coupler. In the first measurement unit, the analog signal corresponding to the power of a part of the traveling wave is generated by using a diode detector, and the analog signal is converted into a digital value. Furthermore, more than one correction factor corresponding to the set frequency, set power and set bandwidth of the microwave specified in the microwave output device is selected. The measured value is determined by multiplying more than one selected correction coefficient with the digital value.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微波输出装置及等离子体处理装置
本专利技术的实施方式涉及一种微波输出装置及等离子体处理装置。
技术介绍
在半导体器件等电子器件的制造中利用等离子体处理装置。等离子体处理装置中有电容耦合型的等离子体处理装置、感应耦合型的等离子体处理装置等各种类型的等离子体处理装置，但已经在利用使用微波使气体激发类型的等离子体处理装置。通常，在等离子体处理装置中，使用输出单频微波的微波输出装置，但也存在如专利文献1所记载，使用输出具有带宽微波的微波输出装置的情况。以往技术文献专利文献专利文献1：日本专利特开2012-109080号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术课题微波输出装置具有微波产生部及输出部。微波由微波产生部产生，且在波导管传播之后，自输出部输出。在等离子体处理装置的该输出部耦合有负载。因此，为了使等离子体处理装置的腔室主体内产生的等离子体稳定，有必要适当地设定输出部中的微波的功率。因此，测定输出部中的微波的功率，尤其是测定行进波的功率较为重要。为了测定行进波的功率，微波输出装置中，一般而言在微波产生部与输出部之间设置方向性耦合器来求出自该方向性耦合器输出的行进波的一部分...
【技术保护点】
1.一种微波输出装置，其具备：微波产生部，产生具有分别与自控制器指示的设定频率、设定功率及设定带宽对应的中心频率、功率及带宽的微波；输出部，输出自所述微波产生部传播的微波；第1方向性耦合器，输出自所述微波产生部传播至所述输出部的行进波的一部分；及第1测定部，基于自所述第1方向性耦合器输出的所述行进波的所述一部分，确定表示所述输出部中的所述行进波的功率的第1测定值，所述第1测定部具有：第1检波部，使用二极管检波，产生与所述行进波的所述一部分的功率对应的模拟信号；第1A/D转换器，将通过所述第1检波部产生的模拟信号转换为数字值；及第1处理部，构成为自为了将由所述第1A/D转换器...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.10.18 JP 2016-2043891.一种微波输出装置，其具备：微波产生部，产生具有分别与自控制器指示的设定频率、设定功率及设定带宽对应的中心频率、功率及带宽的微波；输出部，输出自所述微波产生部传播的微波；第1方向性耦合器，输出自所述微波产生部传播至所述输出部的行进波的一部分；及第1测定部，基于自所述第1方向性耦合器输出的所述行进波的所述一部分，确定表示所述输出部中的所述行进波的功率的第1测定值，所述第1测定部具有：第1检波部，使用二极管检波，产生与所述行进波的所述一部分的功率对应的模拟信号；第1A/D转换器，将通过所述第1检波部产生的模拟信号转换为数字值；及第1处理部，构成为自为了将由所述第1A/D转换器产生的数字值校正为所述输出部中的行进波的功率而预先设定的多个第1校正系数中，选择与由所述控制器指示的所述设定频率、所述设定功率、及所述设定带宽建立对应的一个以上的第1校正系数，且将所选择的该一个以上的第1校正系数与由所述第1A/D转换器产生的所述数字值相乘，由此确定所述第1测定值。2.根据权利要求1所述的微波输出装置，其中，所述多个第1校正系数包含分别与多个设定频率建立对应的多个第1系数、分别与多个设定功率建立对应的多个第2系数、及分别与多个设定带宽建立对应的多个第3系数，所述第1处理部构成为将所述多个第1系数中与由所述控制器指示的所述设定频率建立对应的第1系数、所述多个第2系数中与由所述控制器指定的所述设定功率建立对应的第2系数、及所述多个第3系数中与由所述控制器指定的所述设定带宽建立对应的第3系数,作为所述一个以上的第1校正系数，与由所述第1A/D转换器产生的所述数字值相乘，由此确定所述第1测定值。3.根据权利要求1或2所述的微波输出装置，其还具备：第2方向性耦合器，将返回至所述输出部的反射波的一部分输出；及第2测定部，基于自所述第2方向性耦合器输出的所述反射波的一部分，确定表示所述输出部中的所述反射波的功率的第2测定值，所述第2测定部具有：第2检波部，使用二极管检波，产生与所述反射波的一部分的功率对应的模拟信号；第2A/D转换器，将通过所述第2检波部产生的模拟信号转换为数字值；及第2处理部，构成为自为了将由所述第2A/D转换器产生的数字值校正为所述输出部中的反射波的功率而预先设定的多个第2校正系数中，选择与由所述控制器指示的所述设定频率、所述设定功率、及所述设定带宽建立对应的一个以上的第2校正系数，且将所选择的该一个以上的第2校正系数与由所述第2A/D转换器产生的所述数字值相乘，由此确定所述第2测定值。4.根据权利要求3所述的微波输出装置，其中，所述多个第2校正系数包含分别与多个设定频率建立对应的多个第4系数、分别与多个设定功率建立对应的多个第5系数、及分别与多个设定带宽建立对应的多个第6系数，所述第2处理部构成为将所述多个第4系数中与由所述控制器指示的所述设定频率建立对应的第4系数、所述多个第5系数中与由所述控制器指定的所述设定功率建立对应的第5系数、及所述多个第6系数中与由所述控制器指定的所述设定带宽建立对应的第6系数作为所述一个以上的第2校正系数，与由所述第2A/D转换器产生的所述数字值相乘，由...
【专利技术属性】
技术研发人员：金子和史，河田祐纪，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP
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