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沉积掩模用金属板以及沉积掩模及其制造方法技术
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文档序号:21282874
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用于制造沉积掩模的金属板包括:基础金属板;以及设置在基础金属板上的表面层,其中表面层包含与基础金属板的元素不同的元素,或者具有与基础金属板的组成比不同的组成比,以及基础金属板的蚀刻速率大于表面层的蚀刻速率。一个实施方案包括用于蚀刻因子大于或...
该专利属于LG伊诺特有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过LG伊诺特有限公司授权不得商用。
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