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存储元件及其制造方法技术
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文档序号:21276255
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一种存储元件,包括:基底、堆叠层、通道结构、电荷储存结构、氮化硅层以及缓冲氧化物层。堆叠层配置于基底上。堆叠层包括相互堆叠的多个介电层与多个导体层。通道结构贯穿堆叠层。电荷储存结构环绕通道结构的侧壁。氮化硅层环绕导体层。缓冲氧化物层配置于导...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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