温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种超薄石英片的精密加工方法，属于光学加工领域。该方法首先将石英毛坯材料放入退火炉中进行精密退火。其次，将毛坯B面粘接于载物盘上，通过磨削和研磨工艺对A面进行减薄加工，减薄指定厚度后对A面抛光去除研磨损伤层；修整A面面形，将其表面...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。