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文档序号:21234429

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提供加工装置,容易维持加工室的形成有开口的状态。加工装置(1)中,加工室(5)具有侧板(51a~51d)和上板(52),对上板的开口进行开闭的门单元(59)具有:第一上板(591),其能够向加工室外侧旋转且一端借助第一铰链(591a)而支承...
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