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一种抛光方法包括：抛光基板的层，用原位监测系统监测所述基板的所述层，以产生取决于所述层的厚度的信号，对所述信号进行滤波以产生经滤波的信号，从代表对所述信号进行滤波所需的时间的原始阈值与时间延迟值来确定经调整的阈值，以及当所述经滤波的信号越过...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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