下载集成电路器件鳍、集成电路及其形成方法的技术资料

文档序号:21162845

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本文提供了集成电路的实例以及用于形成该集成电路的方法。在一些实例中,一种方法包括接收衬底,该衬底包括:在衬底的其余部分上方延伸的多个鳍;第一区域,包括含有多个鳍的第一子集的第一防护区域;以及第二区域,包括含有多个鳍的第二子集的第二防护区域。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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