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本发明公开了一种超结器件，超结结构的P型柱由填充在沟槽中的P型外延层组成，N型柱由各P型柱之间的N型外延层组成，各沟槽为顶部宽底部窄的侧面倾斜结构，在纵向上N型外延层的掺杂浓度呈由顶部到底部逐级降低的阶梯分布；超结结构位于电流流动区、过渡区...
该专利属于深圳尚阳通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳尚阳通科技有限公司授权不得商用。

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