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磨削磨轮制造技术
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文档序号:21102847
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提供磨削磨轮,在对晶片进行磨削的磨削磨轮中,即使分段磨具产生消耗也能将磨削水可靠地排出到磨具外,从而确保磨削屑不会堆积于分段磨具的内侧。一种磨削磨轮,该磨削磨轮安装于主轴的前端,对保持工作台所保持的晶片进行磨削,其中,该磨削磨轮具有:环状基...
该专利属于株式会社迪思科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪思科授权不得商用。
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