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生长在硅/石墨烯复合衬底上的GaN基纳米柱LED外延片制造技术
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下载生长在硅/石墨烯复合衬底上的GaN基纳米柱LED外延片的技术资料
文档序号:21094716
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本实用新型公开了生长在硅/石墨烯复合衬底上的GaN基纳米柱LED外延片,包括生长在硅/石墨烯复合衬底上的非掺杂GaN纳米柱,生长在非掺杂GaN纳米柱上的n型掺杂GaN层,长在n型掺杂GaN层上的InGaN/GaN量子阱,生长在InGaN/G...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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