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本发明公开了一种晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，包括步骤：获取所要监控的在线产品批次的基本信息并写入后台数据；根据历史跑货状况来更新各步预计作业时间；计算各步的预计结束时间；计算预计的纯DPML并计算归一化系数；对各步的预计作...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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