【技术实现步骤摘要】
晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法
本专利技术涉及一种半导体集成电路的制造方法，特别是涉及一种在线产品批次跑货状态的分析预测方法。
技术介绍
在晶圆制造中，一条生产线上包括了多个机台，一个产品需要经过多个工艺步骤如通常为数百步工艺步骤，一条生产线上每月出货通常为数万片晶圆，所以，生产线上的跑货安排很重要。实际制造中，产品通常是用批次(lot)表示，一批次中包括多片如25片晶圆，一批次的晶圆通常是制造相同的产品，本专利技术说明书中，将生产过程中的产品批次称为在线产品批次。各产品批次在跑货过程中是不断到进入到各种机台中进行对应的工艺步骤，通常将按照工艺将各种机台所对应的工艺步骤称为站点；各产品批次在各站点之间流动，直至完成所有工艺，通常，产品的所有工艺需要在规定交期即交货日期之前完成。通常，在实际工艺中，会有部分站点的机台数较少，或者需要跑货的产品批次较多，这会使得这些站点成为瓶颈站点，这会造成产品批次的等待时间过长，甚至有可能不能在交期之前完成交货。另外，在跑货的各站点中，其中光刻工艺比较耗时，通常采用每层光刻所耗天数(DaysPerMaskLayer，D...
【技术保护点】
1.一种晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、获取所要监控的在线产品批次的基本信息并写入后台数据；步骤二、根据历史跑货状况来更新各步预计作业时间；步骤三、根据各步的所述预计作业时间计算各步的预计结束时间；步骤四、计算预计的纯DPML，根据所述在线产品批次的类型计算归一化系数；步骤五、采用所述归一化系数对各步的所述预计作业时间进行归一化处理并形成各步对应的归一化预计作业时间；步骤六、更新各所述在线产品批次的各步的预计工程时间；步骤七、根据所述预计工程时间计算各所述在线产品批次的各步的预计作业总时间，所述预计作业总时间为所述预计工程时间...
【技术特征摘要】
1.一种晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、获取所要监控的在线产品批次的基本信息并写入后台数据；步骤二、根据历史跑货状况来更新各步预计作业时间；步骤三、根据各步的所述预计作业时间计算各步的预计结束时间；步骤四、计算预计的纯DPML，根据所述在线产品批次的类型计算归一化系数；步骤五、采用所述归一化系数对各步的所述预计作业时间进行归一化处理并形成各步对应的归一化预计作业时间；步骤六、更新各所述在线产品批次的各步的预计工程时间；步骤七、根据所述预计工程时间计算各所述在线产品批次的各步的预计作业总时间，所述预计作业总时间为所述预计工程时间加所述归一化预计作业时间，根据所述预计作业总时间调整各步的所述预计结束时间并形成调整后预计结束时间；步骤八、获取所要监控的所述在线产品批次的已经结束的各步的实际作业相关时间，所述实际作业相关时间包括实际结束时间、实际作业时间和实际工程时间；步骤九、计算所要监控的所述在线产品批次的已跑过的各步的延迟时间，延迟时间包括工程延迟时间、作业延迟时间、步延迟和总延迟；所述工程延迟时间为所述实际工程时间减去所述预计工程时间；所述作业延迟时间为所述实际作业时间减去所述归一化预计作业时间；所述步延迟为所述工程延迟时间加上所述作业延迟时间；所述总延迟为对应步的实际结束时间减去所述调整后预计结束时间；步骤十、获取需去除延迟时间的所述在线产品批次的各步的信息，根据步骤九计算的延迟时间计算在所述在线产品批次的各步中需要扣除的扣除延迟时间，所述扣除延迟时间为负值；步骤十一、结合所述扣除延迟时间，计算所述在线产品批次的各步的含延迟预计结束时间，实现对所述在线产品批次的跑货的预测；当前步对应的所述含延迟预计结束时间为前一步的结束时间加上当前步的含延迟预计作业总时间；当前步对应的所述含延迟预计作业总时间为所述预计作业总时间加所述扣除延迟时间。2.如权利要求1所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于：步骤二中是根据同技术平台的历史跑货状况来更新各步预计作业时间。3.如权利要求2所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于：步骤二中是根据同技术平台的过去一年的历史跑货状况来更新各步预计作业时间。4.如权利要求1所述的晶圆制造中在线产品批次跑货状态的分析预测方法，其特征在于，还包括步骤：步骤十二、对于具有指定交期的所述在线产品批次，根据交期...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛贵蕴，陈旭，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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