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一种化学机械抛光设备及其晶圆交换机构和晶圆传输方法，化学机械抛光设备包含前端晶圆存储设备，抛光单元和清洗单元，晶圆交换机构设置在清洗单元中，晶圆交换机构包含在竖直方向叠加设置的至少一个待抛光晶圆存储盒和至少一个待清洗晶圆存储盒，待抛光晶圆存...
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