下载弹性波装置的技术资料

文档序号:21069337

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一种弹性波装置包括:压电基板,主要包含铌酸锂;叉指换能器电极,设置在压电基板上;以及电介质膜,设置在压电基板上,以便覆盖叉指换能器电极,主要包含氧化硅。弹性波装置使用瑞利波。叉指换能器电极包括多个主电极层(electrolyte)。多个主电...
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