下载半导体器件的技术资料

文档序号:21068310

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本实用新型提供了一种半导体器件,属于半导体技术领域。该半导体器件包括:半导体衬底;第一绝缘层,位于所述半导体衬底上表面;存储节点接触塞,位于第一绝缘层内;浅凹槽,位于所述存储节点接触塞上方;第一电极层,具有电容图形,并覆盖所述浅凹槽的内壁;...
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