下载集成电路金属互连结构以及集成电路的技术资料

文档序号:21068301

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本公开提供一种集成电路金属互连结构以及集成电路。本公开实施例提供的集成电路金属互连结构包括:金属互连线,用于连接集成电路中的金属接触件;介质层,其中一面设置有用于容纳所述金属互连线的线型槽;缓冲层,覆盖于所述介质层上,与所述金属互连线相互贴...
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