下载一种沟槽保护圈结构的技术资料

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一种沟槽保护圈结构,包括:基底,沟槽,字线结构,多个金属互连层,金属间介电层以及层间介电层。基底具有多个芯片区域以及位于相邻所述芯片区域间的保护圈区域。沟槽位于保护圈区域中。字线结构位于所述沟槽中。多个金属互连层位于所述基底上,呈层叠状设置...
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