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文档序号:21068277
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本公开提供一种晶舟,包括第一预设数量个支撑柱,每个所述支撑柱上固定有第二预设数量个支撑件,所述支撑件包括:第一支撑部,具有第一长度;第三预设数量个第二支撑部,上表面为仅具有一个顶点的曲面,下表面与所述第一支撑部连接,具有第二长度,且所述第二...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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