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本实用新型提供一种具有管道加热功能的半导体制造装置，本实用新型的实施例的具有管道加热功能的半导体制造装置包括进行半导体加工工艺的工艺腔室、使所述工艺腔室保持真空状态的真空泵以及由不锈钢管构成且用于连接所述工艺腔室和所述真空泵之间的前级管道，...
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