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本发明的晶圆清洗方法包括：提供包含旋转台和喷嘴的清洗机；将晶圆固定在所述旋转台上，所述喷嘴置于所述晶圆的上方并对准所述晶圆的中心；控制所述旋转台旋转，并控制所述喷嘴喷出氨水以清洗所述晶圆的中心；控制所述喷嘴自所述晶圆的中心沿直径方向在所述晶...
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