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在基板处理装置(1)中，第一杯部(161)整周地位于在基板(9)的周围所形成的环状开口(81)的径向外侧，以接收从旋转的基板(9)飞散的处理液。杯部移动机构(162)使第一杯部(161)在环状开口(81)的径向外侧的第一位置和比第一位置更靠...
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