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流量比率控制装置、流量比率控制装置用程序及流量比率控制方法制造方法及图纸
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下载流量比率控制装置、流量比率控制装置用程序及流量比率控制方法的技术资料
文档序号:21041014
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为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置,本流量比率控制装置包括:主流道;多个分支流道,从所述主流道的末端分支;多个流体控制装置,设于各个分支流道上,分别包括阀以及配置于所述阀...
该专利属于株式会社堀场STEC所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社堀场STEC授权不得商用。
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