流量比率控制装置、流量比率控制装置用程序及流量比率控制方法制造方法及图纸

为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置，本流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器；以及动作设定部，基于目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】流量比率控制装置、流量比率控制装置用程序及流量比率控制方法
本专利技术涉及一种流量比率控制装置，其对在从主流道分支的多个分支流道中流动的流体的流量比率进行控制，以使该流量比率成为目标流量比率。
技术介绍
在半导体制造工序(process)中，为了使腔室(chamber)内的气体浓度均匀化，使用流量比率控制装置(比率控制器(ratiocontroller))从腔室的多个部位以规定的流量比率导入气体。所述流量比率控制装置包括：主流道，包含多个成分的混合气体在该主流道中流动；多个分支流道，从所述主流道的末端分支，与腔室连接；以及质量流量控制器(massflowcontroller)，分别设于各个分支流道上(参照专利文献1)。多个质量流量控制器中的一个质量流量控制器进行压力控制，以使压力成为预定的目标压力，其它的质量流量控制器进行流量控制，以使流量成为根据目标流量比率和在各个分支流道中流动的气体流量的总和计算出的各个目标流量。这样，各个分支流道的质量流量控制器进行动作，由此实现目标流量比率。但是，在近年的半导体制造工序中，不仅要求能够准确地控制气体的流量比率，而且也要求缩短到能够达成该流量比本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种流量比率控制装置，其特征在于，所述流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个所述分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式的流量传感器；目标接收部，接收目标流量比率，所述目标流量比率是在各个所述分支流道中流动的流体的流量的分配比率；目标流量计算部，基于由各个所述流量传感器测量的在各个所述分支流道中流动的流体的测量流量的总和以及所述目标流量比率，计算出各个所述分支流道的目标流量；以及动作设定部，基于所述目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使以流速控制模式进行动作的所述...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.12 JP 2016-1777521.一种流量比率控制装置，其特征在于，所述流量比率控制装置包括：主流道；多个分支流道，从所述主流道的末端分支；多个流体控制装置，设于各个所述分支流道上，分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式的流量传感器；目标接收部，接收目标流量比率，所述目标流量比率是在各个所述分支流道中流动的流体的流量的分配比率；目标流量计算部，基于由各个所述流量传感器测量的在各个所述分支流道中流动的流体的测量流量的总和以及所述目标流量比率，计算出各个所述分支流道的目标流量；以及动作设定部，基于所述目标流量比率进行设定，以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作，并且使以流速控制模式进行动作的所述一个流体控制装置以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作，所述流速控制模式是用于对比各个所述阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式，所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。2.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，所述动作设定部构成为基于所述目标流量比率使设于流量比最大的分支流道上的流体控制装置以所述流速控制模式进行动作。3.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，所述流量比率控制装置还包括：主压力传感器，设置在比各个所述阀更靠上游侧；以及流速计算部，基于由所述主压力传感器测量的流体压力、由所述流量传感器测量的在各个所述分支流道中流动的流体的测量流量的总和、以及所述主流道的截面面积，计算出流体的流速。4.根据权利要求3所述的流量比率控制装置，其特征在于，所述流速计算部构成为将计算出的流速输出至外部，被设定为所述流速控制模式的流体控制装置接收目标开度并对所述阀进行控制，以使该阀的开度成为所述目标开度，被设定为所述流量控制模式的流体控制装置对所述阀进行控制，以使所述目标流量与由所述流量传感器测量的测量流量的偏差变小。5.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，各个所述阀具备位置传感器，所述位置传感器对阀体相对于阀座的位置进行测量。6.根据权利要求5所述的流量比率控制装置，其特征在于，所述流量比率控制装置还包括：设定存储部，当在各个所述分支流道中流动的流体的流量比率稳定在所述目标流量比率时，存储稳定状态开度数据，所述稳定状态开度数据是将所述目标流量比率和稳定在所述目标流量比率的状态下的各个所述阀的所述位置传感器的输出取得了关联的数据；以及前馈控制部，当包含与所述目标接收部接收到的目标流量比率相同的目标流量比率的稳定状态开度数据存在时，控制各个所述阀的开度，以使各个所述阀的开度在流量比率控制开始时成为所述稳定状态开度数据的各个所述阀的所述位置传感器的输出。7.根据权利要求1所述的流量比率控制装置，其特征在于，从所述主流道到各个所述分支流道的各个所述阀为止的流道的流导大致固定。8.一种流量比率控制装置，其特征在于，所述流量比率控制装置包括：主流道；第一分支流道，从所述主流道的末端分支；第二分支流道，从所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：安田忠弘，帕特里克·艾伦·洛厄里，威廉·怀利·怀特，布莱恩·詹姆斯·埃伯特，麦斯米兰·马丁·冈德拉赫，约翰·托马斯·迪克，
申请(专利权)人：株式会社堀场STEC，
类型：发明
国别省市：日本,JP