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提供一种用于在真空室(102)中传输载体(10)的设备(100)。设备(100)包括第一传输系统(112)和路径转换组件(150)，第一传输系统(112)沿着在传输方向(T)上的第一传输路径(T1)提供且包括下轨道区段(121)和上轨道区段...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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