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本发明提供一种具有清洗功能的晶圆存储装置及半导体生产设备，具有清洗功能的晶圆存储装置包括：缓冲存料架及清洗系统，包括框架及若干个隔板，隔板固定于框架上，且在框架内隔离出若干个用于放置晶圆盒的放置区域；清洗系统设置于缓冲存料架上，清洗系统包括...
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