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本发明提供一种能够抑制成形孔径阵列的温度上升的多带电粒子束描绘装置。本实施方式涉及的多带电粒子束描绘装置具备：射出部，射出带电粒子束；限制孔径基板，形成有单个的第一开口；成形孔径阵列，形成有多个第二开口，在包含所述多个第二开口的区域，接受通...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。

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