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一种半导体存储器的阵列结构制造技术
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下载一种半导体存储器的阵列结构的技术资料
文档序号:21005799
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本发明提供一种半导体存储器的阵列结构,具有纵向和横向两个互相垂直的方向,在复数个阵列排布的有源区中,每个有源区具有相同的外轮廓。奇数行的有源区与横向以相同的第一倾角等间距排布,并在纵向上依次对齐。偶数行的有源区与横向以相同的第二倾角等间距排...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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