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集成电路器件及制造其的方法技术
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文档序号:21005787
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一种集成电路器件包括:导电线结构,其包括导电线和绝缘盖图案;以及包括内间隔物和第一绝缘间隔物的绝缘间隔物,内间隔物和第一绝缘间隔物在导电线结构的侧壁上。第一绝缘间隔物包括:狭缝部分;下绝缘部分,其与内间隔物间隔开,使得下绝缘部分的一部分与内...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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