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本发明涉及带电粒子束描绘装置及带电粒子束描绘方法。具备：描绘部，对载置于工作台的描绘对象的基板照射带电粒子束来描绘图案；标记基板，设置在工作台上，形成有标记；照射位置检测器，通过带电粒子束对标记的照射检测标记表面上的带电粒子束的照射位置；高...
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