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压力传感器，检测压力介质的压力。压力传感器具备传感器基板(10)和保护膜(30)。传感器基板具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)。保护膜设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面...
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