压力传感器制造技术

压力传感器，检测压力介质的压力。压力传感器具备传感器基板(10)和保护膜(30)。传感器基板具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)。保护膜设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，抑制所述压力介质所含异物的附着。形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能。压力传感器还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应。根据该压力传感器，能够抑制压力的检测精度的降低。

Pressure transducer

Pressure sensor to detect the pressure of pressure medium. The pressure sensor has a sensor substrate (10) and a protective film (30). The sensor substrate has a concave part (11) that is thinner than the peripheral concave part (12) and a thin wall part (12) that is thinner than the peripheral part due to the formation of the concave part. The protective film is provided at least one part of the side (13) of the concave part and one side of the thin wall part, namely the bottom (14) of the concave part, to suppress the attachment of foreign matter contained in the pressure medium. The concave part forming the protective film and the thin wall part are disposed in the pressure medium, and the thin wall part has the function of detecting the pressure of the pressure medium. The pressure sensor also has an attachment preventive part (13a) to exert the lotus effect in a state in which the concave and convex part of at least one part of the side is provided as the protective film and the liquid having a hydrophobic hydrophobic film relative to the liquid of the pressure medium. According to the pressure sensor, it can suppress the reduction of the detection accuracy of pressure.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】压力传感器关联申请的相互参照本申请基于2016年9月6日提出的日本申请第2016－173921号并在此引用其记载内容。
本专利技术涉及压力传感器。
技术介绍
以往，作为压力传感器的一例，有专利文献1公开的压力传感器。该压力传感器，为了防止妨碍压力检测之物(以下称为异物)附着到凹部的表面，具有在凹部的表面设置的保护部。保护部由氟类树脂的膜、氟类树脂的片材、或者氟类凝胶等构成。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2015－197367号公报
技术实现思路
专利技术概要但是，关于压力传感器所处的压力介质，考虑异物的量少的状态、多的状态等各种状态。因此，根据压力介质的状态，压力传感器有可能其保护膜的功能不充分而无法防止异物附着到凹部。本专利技术针对上述问题点而做出，目的在于提供一种压力传感器，其能够提高抑制异物向凹部附着的效果。本专利技术的第一方式的压力传感器，对压力介质的压力进行检测。压力传感器具备传感器基板和保护膜。传感器基板具有比周边凹陷的凹部、以及由于凹部的形成从而比周边薄的薄壁部。保护膜设在凹部的侧面的至少一部分、以及薄壁部的一面即凹部的底面，抑制压力介质所含异物的附着。形成有保护膜的凹部和薄壁部配置在压力介质中，薄壁部具有检测压力介质的压力的功能。压力传感器还具备附着防止部，该附着防止部以在设于侧面的至少一部分的凹凸处作为保护膜而设有相对于压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应这样，本专利技术在凹部的侧面的至少一部分、以及薄壁部的一面即凹部的底面设有用于抑制压力介质所含异物的附着的保护膜。因此，本专利技术能够抑制压力介质所含异物向设有保护膜的部位附着。此外，本专利技术还具备附着防止部，该附着防止部以在凹凸处设有疏液膜的状态发挥莲花效应。该附着防止部，除了疏液膜的疏液性之外，以在凹凸处设有疏液膜的状态发挥莲花效应，因此与仅在平坦的侧面设有疏液膜的情况相比异物更不易附着。因此，本专利技术能够提高抑制异物向凹部附着的效果。因此，本专利技术能够与压力介质的状态无关地抑制异物向凹部附着。另外，本专利技术由于在凹部的侧面设有附着防止部，因此能够抑制异物在侧面堆积、异物堆积而成的堆积层到达薄壁部。因此，本专利技术能够抑制压力的检测精度的降低。本专利技术的第二方式的压力传感器，对压力介质的压力进行检测。压力传感器具备传感器基板和保护膜。传感器基板具备比周边凹陷的凹部、以及由于凹部的形成从而比周边薄的薄壁部。保护膜设在凹部的侧面的至少一部分、以及薄壁部的一面即凹部的底面，抑制压力介质所含异物的附着。形成有保护膜的凹部和薄壁部配置在压力介质中，薄壁部具有检测压力介质的压力的功能。压力传感器还具备附着防止部，该附着防止部以在设于侧面的至少一部分的凹凸处作为保护膜而设有相对于压力介质的液体具有亲液性的亲液膜的状态而相比于亲液膜而言被提高了亲液性。这样，本专利技术在凹部的侧面的至少一部分、以及薄壁部的一面即凹部的底面设有用于抑制压力介质所含异物的附着的保护膜。因此，本专利技术能够抑制压力介质所含异物向设有保护膜的部位附着。此外，本专利技术具备以在凹凸处设有亲液膜的状态而相比于亲液膜而言被提高了亲液性的附着防止部。该附着防止部除了亲液膜的亲液性之外，以在凹凸处设有亲液膜的状态而相比于亲液膜而言被提高了亲液性，因此与仅在平坦的侧面设有亲液膜的情况相比异物更不易附着。因此，本专利技术能够提高抑制异物向凹部附着的效果。因此，本专利技术能够与压力介质的状态无关地抑制异物向凹部附着。另外，本专利技术在凹部的侧面设有附着防止部，因此能够抑制异物在侧面堆积、异物堆积而成的堆积层到达薄壁部。因此，本专利技术能够抑制压力的检测精度的降低。附图说明图1是表示本专利技术的第一实施方式的压力传感器的概略结构的平面图。图2是沿着图1的II-II线的剖面图。图3是图2的虚线III所围部分的放大图。图4是表示本专利技术的第二实施方式的压力传感器的概略结构的剖面图。图5是表示本专利技术的第三实施方式的压力传感器的概略结构的剖面图。图6是表示本专利技术的第四实施方式的压力传感器的概略结构的剖面图。具体实施方式以下，参照附图，对用于实施本专利技术的多个方式进行说明。在各方式中，有时对于与在先前方式中说明过的事项对应的部分标记相同的参照符号而省略重复说明。在各方式中仅对部分结构进行说明的情况下，能够对结构的其它部分适用先前说明过的其它方式。在各实施方式中不仅能够对具体地明示了能够组合的部分彼此进行组合，而且只要不特别对组合造成妨碍则即使没有明示也能够将实施方式彼此部分地进行组合。以下参照附图对用于实施本专利技术的多个方式进行说明。在各方式中，有时对于在先前方式中说明过的事项所对应的部分附加相同的参照符号而省略重复说明。在各方式中，仅对部分结构进行说明的情况下，能够对结构的其它部分参照并适用在先说明过的其它方式。(第一实施方式)使用图1、图2、图3说明本专利技术的第一实施方式的压力传感器100。该压力传感器100例如适用于检测被取入到发动机内的吸入空气的压力、检测EGR(ExhaustGasRecirculation：排气再循环)系统等的排放气体压力、以及检测对发动机各部进行润滑的发动机油的压力等。即，压力传感器100适用于检测作为压力介质的吸入空气、排放气体、发动机油等的压力。压力传感器100如图1、图2所示那样与电路部200连接。电路部200包含对压力传感器100的输出信号进行处理的电路芯片、将压力传感器100与电路芯片电连接的引线、用于对电路部200进行输出的导线等。另外，电路部200例如包含将电路芯片、引线以及导线的一部分一体地密封的密封树脂。此外，密封树脂还将压力传感器100的一部分与这些一起密封。压力传感器100主要具备传感器基板10、保护膜30。另外，在本实施方式中，采用了具备与传感器基板10接合的贴合基板20的压力传感器100。传感器基板10是由硅等半导体构成的平板状的部件。另一方面，贴合基板20是由半导体、玻璃等构成的平板状的部件。传感器基板10具有表面和与表面相反的背面，在背面接合有贴合基板20。传感器基板10与贴合基板20以接合的状态形成了平板状的构造体。例如、传感器基板10的表面和背面的外形呈矩形。贴合基板20的与传感器基板10相对的面、和相对面的相反面呈矩形。此外，贴合基板20如图2所示，在与传感器基板10相对的面设有比周边凹陷的压力基准室21。该压力基准室21设于与在后说明的受压部12相对的位置。另外，压力基准室21在传感器基板10与贴合基板20接合的状态下被设为真空压。传感器基板10如图1、图2所示，形成有比周边凹陷的凹部11，该凹部11是在表面侧具有开口端11a的有底的孔。另外，传感器基板10具备受压部12，该受压部12由于凹部11的形成而比周边薄。由此，受压部12是与凹部11相对的部位。此外，受压部12相当于薄壁部。压力传感器100的形成有在后说明的保护膜30的凹部11和受压部12配置在压力介质中。另外，受压部12具有检测压力介质的压力的功能。凹部11和受压部12也可以相对于压力介质露出。受压部12其厚度为例如10μm左右，厚度比周边的传感器基板10薄。另外，受压部12由于与从开口端11a流入凹部11内的压力介质所施加的压力对应地变形即应变，所以能够称为隔膜(diaphragm)。受压部12形成了电阻值与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压力传感器，对压力介质的压力进行检测，其特征在于，具备：传感器基板(10)，具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)；以及保护膜(30)，设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，用于抑制所述压力介质中包含的异物的附着；形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能；还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.09.06 JP 2016-1739211.一种压力传感器，对压力介质的压力进行检测，其特征在于，具备：传感器基板(10)，具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)；以及保护膜(30)，设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，用于抑制所述压力介质中包含的异物的附着；形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所述压力介质中，所述薄壁部具有检测所述压力介质的压力的功能；还具备附着防止部(13a)，该附着防止部(13a)以在设于所述侧面的至少一部分的凹凸处作为所述保护膜而设有相对于所述压力介质的液体具有疏液性的疏液膜的状态来发挥莲花效应。2.一种压力传感器，对压力介质的压力进行检测，其特征在于，具备：传感器基板(10)，具有比周边凹陷的凹部(11)、以及由于所述凹部的形成从而比周边薄的薄壁部(12)；以及保护膜(30)，设在所述凹部的侧面(13)的至少一部分、以及所述薄壁部的一面即所述凹部的底面(14)，用于抑制所述压力介质中包含的异物的附着；形成有所述保护膜的所述凹部和所述薄壁部配置在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：川野晋司，马渡和明，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：日本,JP