下载3D存储器件的技术资料

文档序号:20978932

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本申请公开了一种3D存储器件。该3D存储器件包括:栅叠层结构,所述栅叠层结构包括交替堆叠的多个栅极导体和多个层间绝缘层;多个沟道柱,所述沟道柱贯穿所述栅叠层结构以形成晶体管;以及多个伪沟道柱,所述伪沟道柱贯穿所述栅叠层结构中的至少部分所述栅...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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