下载3D存储器件的技术资料

文档序号:20978930

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本申请公开了一种3D存储器件。该3D存储器件包括:半导体衬底;沟道柱,位于半导体衬底上;以及第一栅叠层结构和第二栅叠层结构,每个栅叠层结构与沟道柱邻接,并分别包括多个栅极导体和多个层间绝缘层,3D存储器件还包括贯穿沟道柱的第一隔离结构,第一...
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