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半导体器件及其制造方法。一种半导体器件以及制造半导体器件的方法涉及具有沟道图案的半导体器件，其中，沟道图案包括管沟道以及在第一方向上从管沟道突出的垂直沟道。该半导体器件还具有设置在管沟道上方的层间绝缘层以及设置在管沟道上方的栅极，其中，栅极...
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