下载重布线层结构及其制备方法的技术资料

文档序号:20946357

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本发明提供了一种重布线层结构及其制备方法。该重布线层结构包括顺序层叠的衬底、第一无机介质层、第一粘附层和重布线层,重布线层具有多个表面,其中与第一粘附层接触的表面为第一表面,第一表面之外的表面为其它表面,重布线层结构还包括:第二粘附层,设置...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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