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本发明涉及用于确定工艺参数的方法和装置。提供了一种使用至少一个基于时间轨迹的预测模型来处理在处理室中的衬底的方法。对衬底进行干法处理，其中干法处理产生至少一种气体副产物。测量至少一种气体副产物的浓度。确定至少一种气体副产物的浓度的时间轨迹。...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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