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卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置制造方法及图纸
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下载卷对卷方式的表面处理装置及使用它的成膜方法及成膜装置的技术资料
文档序号:20928739
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本申请提供一种可抑制成本并且对长条基材以几乎不产生皱褶的方式进行处理的卷对卷方式的长条基材的表面处理装置。一种表面处理装置,其具有:2个罐状辊,其等将于真空室内以卷对卷方式搬送的长条树脂膜卷绕至外周面并利用循环于内部的冷媒使其冷却;及表面处...
该专利属于住友金属矿山股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过住友金属矿山股份有限公司授权不得商用。
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